在半導(dǎo)體制造、平板顯示、真空鍍膜等制造領(lǐng)域，獲得清潔、穩(wěn)定、可靠的真空環(huán)境是確保工藝品質(zhì)的基礎(chǔ)前提。傳統(tǒng)的油封式真空泵存在油蒸汽返流污染腔室的風(fēng)險(xiǎn)，而隨著環(huán)保法規(guī)日趨嚴(yán)格和工藝要求不斷提升，無油干式真空泵已成為行業(yè)主流選擇。日本ULVAC（愛發(fā)科）推出的CR300B多級(jí)羅茨型干泵，以其風(fēng)冷設(shè)計(jì)、無油運(yùn)行和的極限真空性能，為中大型真空設(shè)備提供了高效可靠的真空獲得解決方案。

核心技術(shù)：多級(jí)羅茨結(jié)構(gòu)與無油非接觸設(shè)計(jì)

CR300B屬于ULVAC CR系列干式真空泵的Ver.B版本，是一款獲得國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)（CE、cTUVus）認(rèn)證的風(fēng)冷羅茨型干泵。其核心技術(shù)在于多級(jí)羅茨轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)與無油的排氣室設(shè)計(jì)。

多級(jí)羅茨串聯(lián)壓縮：CR300B采用多級(jí)羅茨轉(zhuǎn)子串聯(lián)的結(jié)構(gòu)，各級(jí)轉(zhuǎn)子在氣缸內(nèi)同步反向旋轉(zhuǎn)，通過精確控制的間隙實(shí)現(xiàn)非接觸式運(yùn)轉(zhuǎn)。氣體在流經(jīng)各級(jí)壓縮腔時(shí)被逐步壓縮，最終排向大氣。這種設(shè)計(jì)既保證了高壓縮比，又避免了機(jī)械接觸帶來的磨損和潤(rùn)滑需求。

無油排氣室：泵頭內(nèi)部不使用真空油，轉(zhuǎn)子與氣缸之間實(shí)現(xiàn)無接觸運(yùn)轉(zhuǎn)。這意味著整個(gè)排氣過程無油參與，消除了油蒸汽向真空腔室的返流污染，確保了獲得潔凈真空，同時(shí)顯著延長(zhǎng)了泵的穩(wěn)定運(yùn)行壽命。

DC密封電機(jī)技術(shù)：CR300B配備了DC密封電機(jī)，實(shí)現(xiàn)了節(jié)能、氣密性和輕量化的多重優(yōu)勢(shì)。電機(jī)的密封結(jié)構(gòu)有效防止了外部泄漏，同時(shí)降低了功耗，符合現(xiàn)代工業(yè)對(duì)節(jié)能環(huán)保的要求。

產(chǎn)品特性：風(fēng)冷節(jié)能與智能擴(kuò)展

CR300B的設(shè)計(jì)充分考慮了工業(yè)應(yīng)用的運(yùn)行經(jīng)濟(jì)性與環(huán)境適應(yīng)性，在冷卻方式、功耗控制和功能擴(kuò)展方面均有突出表現(xiàn)。

風(fēng)冷設(shè)計(jì)，零水耗運(yùn)行：CR300B采用風(fēng)冷冷卻方式，無需冷卻水和氮?dú)?。這一設(shè)計(jì)不僅簡(jiǎn)化了安裝條件，更大幅降低了日常運(yùn)行成本，尤其適合缺水地區(qū)或希望降低公用設(shè)施投入的用戶。

氣鎮(zhèn)機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)水蒸氣抽除：泵體配備氣鎮(zhèn)機(jī)構(gòu)（Gas Ballast，選配件），通過引入適量干燥氣體，可有效防止水蒸氣在泵內(nèi)凝結(jié)，從而實(shí)現(xiàn)水蒸氣的抽除。使用氣鎮(zhèn)時(shí)，CR300B的大水蒸氣處理量可達(dá)500g/h，適用于真空干燥等需要抽除大量水蒸氣的工藝場(chǎng)景。

低功耗與輕量化：CR300B電機(jī)額定功率為3.0kW，整機(jī)重量100kg，在同類產(chǎn)品中實(shí)現(xiàn)了較好的功率重量比。輕量化設(shè)計(jì)降低了安裝和維護(hù)難度，而低功耗則為長(zhǎng)期連續(xù)運(yùn)行節(jié)約了可觀的電費(fèi)成本。

完善的附件選項(xiàng)：為適應(yīng)不同應(yīng)用場(chǎng)景，CR300B提供豐富的選配件，包括針閥式或電磁閥+針閥式氣鎮(zhèn)機(jī)構(gòu)、消音器（RS-01+套件C）、簡(jiǎn)易消音器（EFS-19-NW40/1）以及電源互換BOX等，用戶可根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行配置。

技術(shù)規(guī)格與性能參數(shù)

CR300B作為CR系列中的中大流量機(jī)型，其核心性能參數(shù)如下表所示：

工作原理與工作流程

CR300B的工作原理基于多級(jí)羅茨轉(zhuǎn)子對(duì)氣體的捕獲、壓縮和排出。當(dāng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)各級(jí)轉(zhuǎn)子同步反向旋轉(zhuǎn)時(shí)，轉(zhuǎn)子和氣缸之間形成周期性變化的容積腔。氣體從吸氣口被吸入一級(jí)壓縮腔，隨著轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)，氣體被逐級(jí)輸送到后續(xù)壓縮腔，每經(jīng)過一級(jí)，氣體體積被壓縮、壓力升高，最終從排氣口排向大氣。

整個(gè)過程中，轉(zhuǎn)子和氣缸之間保持微米級(jí)間隙，無機(jī)械接觸，因此無需潤(rùn)滑油參與密封和潤(rùn)滑。這種非接觸式運(yùn)轉(zhuǎn)不僅保證了氣體的潔凈度，也大幅降低了機(jī)械磨損和發(fā)熱。

當(dāng)需要抽除水蒸氣時(shí)，用戶可開啟氣鎮(zhèn)閥，向壓縮腔內(nèi)注入適量干燥氣體，以降低水蒸氣的分壓，防止其在低于露點(diǎn)時(shí)凝結(jié)，從而確保水蒸氣被順利排出泵外。

廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域

CR300B憑借其潔凈無油、高極限真空和風(fēng)冷節(jié)能的特性，在多個(gè)高制造和科研領(lǐng)域發(fā)揮著核心作用。

• 半導(dǎo)體與電子器件制造：用于濺射設(shè)備、蒸鍍?cè)O(shè)備、刻蝕設(shè)備等工藝腔室的真空排氣。潔凈無油的環(huán)境確保晶圓和器件不受碳?xì)浠衔镂廴?，保障產(chǎn)品良率。

• 真空鍍膜與表面處理：適用于光學(xué)鍍膜、裝飾鍍膜、工具鍍膜等各類真空鍍膜機(jī)的粗抽及維持真空，為制備高質(zhì)量薄膜提供清潔的真空基礎(chǔ)。

• 真空干燥與冷凍干燥：在制藥、食品、生物制品等領(lǐng)域的真空干燥設(shè)備中，CR300B可配合氣鎮(zhèn)機(jī)構(gòu)高效抽除大量水蒸氣，顯著縮短干燥時(shí)間，提高生產(chǎn)效率。

• 科研與通用真空設(shè)備：作為各類真空系統(tǒng)的前級(jí)泵或維持泵，用于抽取空氣、惰性氣體等潔凈氣體，廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、表面物理、空間模擬等研究領(lǐng)域。

結(jié)語

日本ULVAC愛發(fā)科CR300B多級(jí)羅茨型干泵，是一款將多級(jí)羅茨壓縮技術(shù)與無油設(shè)計(jì)深度融合的真空獲得設(shè)備。它以300 m3/h的大抽速、≤0.5 Pa的高極限真空和風(fēng)冷零水耗的運(yùn)行特性，為半導(dǎo)體、鍍膜、干燥等領(lǐng)域提供了清潔可靠的真空動(dòng)力。非接觸式轉(zhuǎn)子運(yùn)轉(zhuǎn)確保了長(zhǎng)期穩(wěn)定的使用壽命，DC密封電機(jī)實(shí)現(xiàn)了節(jié)能與輕量化的平衡，而氣鎮(zhèn)機(jī)構(gòu)的可選配置則賦予其處理水蒸氣的靈活能力。在現(xiàn)代工業(yè)對(duì)真空環(huán)境潔凈度與運(yùn)行經(jīng)濟(jì)性要求日益提升的背景下，CR300B以其扎實(shí)的性能和可靠的品質(zhì)，成為中大規(guī)模真空系統(tǒng)的理想選擇。